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氬氣流量就是每分鐘流入儀器的氬氣體積數(shù)，其單位用L/min 表示。由于光電直讀光譜分析是在氬氣氛圍條件下進行的，要想保持這個氬氣氛圍，就必須選擇好氬氣流量這個參數(shù)。如果氬氣流量過小，火花室中的空氣沒有排凈，空氣中的氧氣對紫外光有強烈的吸收作用，使譜線的強度大大減弱，分析靈敏度急劇下降；同時，由于散熱太慢導(dǎo)致樣品或電極發(fā)生變形，火花室中的空氣和試樣激發(fā)分解出來的含氧化物產(chǎn)生擴散放電；激發(fā)過程中產(chǎn)生的大量金屬蒸氣或粉塵積聚在火花室無法及時排除至機外，很容易對聚光鏡（透鏡）造成污染。上述現(xiàn)象的存在都會對分析結(jié)果的準(zhǔn)確度產(chǎn)生影響。氬氣流量過大，在激發(fā)樣品時火花產(chǎn)生跳動，也會對分析結(jié)果的準(zhǔn)確度產(chǎn)生影響，另外也造成氬氣資源浪費，增加使用成本。因此，氬氣流量的最佳值選擇是必要的。實際應(yīng)用中，應(yīng)根據(jù)不同的參數(shù)，調(diào)節(jié)相應(yīng)的氬氣流量。